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BOCEDWARDS 真空隔离阀 - BOCEDWARDS VIV25EKA

BOCEDWARDS 真空隔离阀 - BOCEDWARDS VIV25EKA

品牌:BOCEDWARDS 型号:VIV25EKA BOCEDWARDS 真空隔离阀 - BOCEDWARDS VIV25EKA 产品介绍 VIV真空隔离阀旨在与nXDS、XDS、nXLi和nXRi干式初级泵一起使用,是一种高电导、快速作用的高真空隔离阀,旨在防止蒸汽或颗粒从前级泵移动到工艺室.当VIV关闭时,前级泵排气。当泵停止或停止时,VIV可保护工艺室不被通风。当前级泵重新启动时,阀门将在VIV内的压力下降时缓慢打开,从而大限度地减···


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  • 产品介绍

品牌:BOCEDWARDS

型号:VIV25EKA

BOCEDWARDS 真空隔离阀 - BOCEDWARDS VIV25EKA

BOCEDWARDS 真空隔离阀 - BOCEDWARDS VIV25EKA 产品介绍

VIV真空隔离阀旨在与nXDS、XDS、nXLi和nXRi干式初级泵一起使用,是一种高电导、快速作用的高真空隔离阀,旨在防止蒸汽或颗粒从前级泵移动到工艺室.当VIV关闭时,前级泵排气。当泵停止或停止时,VIV可保护工艺室不被通风。当前级泵重新启动时,阀门将在VIV内的压力下降时缓慢打开,从而大限度地减少任何压力爆裂的影响。

BOCEDWARDS 真空隔离阀 - BOCEDWARDS VIV25EKA 性能特点

VIV阀具有高传导性

快速关闭动作

断电保护

灵活的安装选项

不限制主泵性能

防止蒸汽或微粒从前级泵迁移到工艺室

防止电源故障时工艺室排气

BOCEDWARDS 真空隔离阀 - BOCEDWARDS VIV25EKA 技术参数

关闭压差:>200mbar

开启压差:<200mbar

开启开关时间:<15s

用于合闸切换时间:<0.1s

响应时间切换时间:<0.05s

机身材质:铝

密封材料:氟橡胶