MOTT 过滤器 - MOTT POU-015-S

品牌：MOTT 型号：POU-015-S MOTT 过滤器 - MOTT POU-015-S 产品介绍莫特高纯气体过滤器可对低至0.0015μm的颗粒进行9对数过滤，从而产生无颗粒气体。为了大限度地提高气体过滤效率、强度和可靠性，GasShieldPOU全金属气体过滤器是超高纯（UHP）气体输送应用的理想选择。它们与大多数高纯度电子级工艺气体兼容。 MOTT 过滤器 - MOTT POU-015-S 性能特点不锈钢过滤介···

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产品介绍

品牌：MOTT

型号：POU-015-S

MOTT 过滤器 - MOTT POU-015-S 产品介绍

莫特高纯气体过滤器可对低至0.0015μm的颗粒进行9对数过滤，从而产生无颗粒气体。为了大限度地提高气体过滤效率、强度和可靠性，GasShieldPOU全金属气体过滤器是超高纯（UHP）气体输送应用的理想选择。它们与大多数高纯度电子级工艺气体兼容。

MOTT 过滤器 - MOTT POU-015-S 性能特点

不锈钢过滤介质

MOTT 过滤器 - MOTT POU-015-S 技术参数

操作条件：

max工作压力：3750psig（258.5barg）

惰性气体的highest工作温度：450°C

max压差：1000磅/平方英寸（68.9巴）

材料：

五金件：316LSS

过滤介质：316LSS

润湿硬件表面光洁度：5Ra，电抛光

过滤器效率（对数折减值）：

≥9LRV（颗粒减少99.9999999%）。

根据SEMIF38-0699测试方法，确定最大穿透粒度为0.08μm

颗粒去除尺寸：≥0.0015μm

氦气泄漏等级：1x10-9atmcc/sec

水分贡献：根据SEMIF27测试方法，在低流量环境吹扫下1小时后<10ppb

总碳氢化合物：低于SEMASPEC90120396B测试方法的可检测限值

颗粒脱落：根据SEMIF43-0308试验方法，背景以上的颗粒贡献为零（<1颗粒/ft³）

产地：美国