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INFICON MPS100F - INFICON气体分析仪MPS100F

INFICON MPS100F - INFICON气体分析仪MPS100F

品牌:INFICON 型号:MPS100F INFICON MPS100F - INFICON气体分析仪MPS100F 产品介绍 MPS系列可以通过监控过程条件、检测污染物和检查泄漏来帮助您优化过程。提供100amu和200amu两种版本,能够灵活地执行各种功能,包括一般泄漏检测、真空诊断和碳氢化合物分析。 INFICON MPS100F - INFICON气体分析仪MPS100F 性能特点 双灯丝 现场可更换电子倍增器 ···


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  • 产品介绍

品牌:INFICON

型号:MPS100F

INFICON MPS100F - INFICON气体分析仪MPS100F

INFICON MPS100F - INFICON气体分析仪MPS100F 产品介绍

MPS系列可以通过监控过程条件、检测污染物和检查泄漏来帮助您优化过程。提供100amu和200amu两种版本,能够灵活地执行各种功能,包括一般泄漏检测、真空诊断和碳氢化合物分析。

INFICON MPS100F - INFICON气体分析仪MPS100F 性能特点

双灯丝

现场可更换电子倍增器

可现场更换的阳极、阴极和排斥极灯丝组件

可互换的传感器和电子设备

TCP/IP以太网连接

较短的传感器可max限度地减少安装空间

max模拟扫描和选定峰值的每点数据速率为3ms

MDPP<1.5E-14Torr

传感器在洁净室环境中组装、测试和双重包装

INFICON MPS100F - INFICON气体分析仪MPS100F 技术参数

传感器长度:14.3厘米

质量范围:100amu

探测器类型:FC

灵敏度(FC):3E-4amps/Torr

灵敏度(EM):NA

min可检测分压(3):2.6E-12Torr

max传感器工作温度(FC):200°C

max传感器工作温度(EM):不适用

灯丝类型选项:双Y2O3/Ir灯丝

分辨率(1):<1amu宽

温度系数(2):<1%/°C

每点max数据速率:3ms

零爆炸(@质量2):<100ppm

max工作压力:5E-4Torr

max烘烤温度:300°C

电源输入:20-30VDC