kleindiek MM3A-EM - kleindiek探针台MM3A-EM

品牌：kleindiek

型号：MM3A-EM

kleindiek MM3A-EM - kleindiek探针台MM3A-EM 产品介绍

MM3A-EM探针站包括多达八个MM3A-EM微操作器，与他们的X和Y方向行程为30mm的远程子阶段相结合。子阶段可以选择性地配备位置编码器，可产生50nm的重复性。另一个选项是添加一个范围为3mm的Z轴。

整个平台可以在短短几分钟内安装在SEM的载物台上，也可以很容易地将其移除，以使显微镜恢复到以前的状态。

MM3A-EM微操作器配备了低电流、低容量的测量能力，并与探测工具硬件和软件套件完全兼容，包括带电接触测试仪和电子束感应电流成像模块等。

该平台还可以安装温度高达450°C的加热台。其他定制可根据要求提供（e，g，集成LED照明）。

kleindiek MM3A-EM - kleindiek探针台MM3A-EM 性能特点

紧凑灵活

-易于安装和拆卸，具有高度灵活性

-带模块化组件的即插即用系统

-大多数SEM/FIB仪器的接口解决方案

-快速设置

-大样本的充足空间

-大工作范围（30mmx30mm子阶段行程）

-开创性的布线技术

清晰简单

-直观的控制界面和软件

-用户友好且易于学习

-快速简便的探针头更换

-紧凑、独立的电子设备

-使用多个操纵器轻松工作

坚固稳定

-好的稳定性

-低漂移（1纳米/分钟）

-可靠运行（一年耐久性试验）

-几乎不受振动影响

-手动快速预定位

快速准确

-高操作速度（高达10毫米/秒）

-亚纳米分辨率（0.25纳米）

-无齿隙或反向间隙

-广泛的工作范围

-一个驱动器中的粗排量和细排量

kleindiek MM3A-EM - kleindiek探针台MM3A-EM 技术参数

总高度：31毫米

总宽度：180毫米

max样本尺寸：70mm-70mm，max高度10mm

重量：~1200克

三轴微型操作器

A=左/右B=上/下C=进/出

工作范围：A=240°，B=240°，C=12mm

分辨率A:7x10–9rad（0.5nm）

分辨率B:7x10–9rad（0.2nm）

分辨率C:<0.05nm

低漂移：1纳米/分钟

低容量、低电流测量

噪音：25fA@1Hz

绝缘泄漏电流：<50fA/V

信号导体电阻：<5Ω

max电压：100V

max电流：100mA

变电站

行程X和Y：28.5毫米

速度：highest2mm/s

分辨率：＜0.5nm

重复性：50nm（可选）

角度偏差：<1µrad

负载：500g

可选Z驱动范围：3毫米

Z提升能力：25g

温度范围：273K至353K

特高压版本：273K至393K

min压力：10-7毫巴

超高压版本：2x10-10毫巴

变电站安装：4x3.2mm孔

样品安装：夹子或2xM3孔

产地：德国

纳米抛光

故障分析

低电流晶体管测试