品牌:SIERRA 型号:SmartTrak 50系列 SIERRA流量计SmartTrak 50系列产品介绍 SmartTrak 50系列经过优化,具有长期过程控制应用所需的稳定性、可靠性和操作简单性,以经济的价格提供高精度和可靠的气体质量流量控制。max流量范围从50 slpm增加到200slpm。这使得它非常适合控制晶圆清洁和抛光操作中使用的载气,或PVD和其他半导体操作中的吹扫控制。它还擅长一般应用中常见气体的质量流···
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