SPORLAN流量控制器GP200系列

品牌：SPORLAN

型号：GP200系列

SPORLAN流量控制器GP200系列产品介绍

GP200系列是一款完全压力不敏感的基于压力的质量流量控制器，专为半导体制造中的**蚀刻和沉积工艺而设计。即使在输送低蒸气压工艺气体时也能提供准确的工艺气体输送。降低了气体输送系统的复杂性和拥有成本，因为它消除了对压力调节器和传感器等组件的需求。

SPORLAN流量控制器GP200系列性能特点

较低的入口压力操作 下游阀结构 匹配的瞬态响应 零泄漏控制阀 本地显示指示流量、温度、压力和网络地址 通过消除匹配和补偿两个独立压力传感器的要求，GP200 差压技术降低了测量不确定性，从而提高了精度、可重复性和漂移性能。 由于 GP200 差压传感器专门针对低压差测量进行了优化，现在使用 P-MFC 可以在较低的入口压力下实现更安全的工厂操作。 下游阀门结构确保精度独立于下游压力，使流量能够在高达 1200 Torr 的压力下输送。快速关闭阀解决了非生产性配方等待时间或 尾部效应”，这在上游 MFC 阀门设计中可见，需要额外的时间来排出其内部气体体积。 快、高度可重复的上升和下降流动稳定时间可在**的高循环沉积和蚀刻工艺中实现更严格的工艺控制。 阀门关闭性能提高 100 倍 借助 MultiFlo TM，MFC 满量程流量范围通常可以按 3:1 的比例重新缩小，而不会影响规格的精度、量程比或泄漏，从而实现工艺和库存灵活性 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口有助于设备安装、监控和故障排除

SPORLAN流量控制器GP200系列技术参数

性能：

流量范围（满量程）：3 sccm - 50,000 sccm 准确性：

零泄漏阀：<±1％S.P.（5-100％F.S.）

<±0.05％F。S.（0.5-5％F.S.）

金属密封阀：<±1％S.P.（5-100％F.S.）

<±0.05％F。S.（2-5％F.S.）

可重复性：<±0.15％S.P. 响应时间：280±20 ms匹配的瞬态响应，对于任何上升或下降的非零设定点 多气和范围可配置性：MultiFlo标准 控制范围：

零泄漏阀：0.5-100％F.S。

金属密封阀：2-100％F.S。

零稳定性：<±0.15％F.S每年 流动温度系数：

零：0.005％F.S 每°C

跨度：0.05％S.P.每°C

机械参数：

密封材料：金属 纯度 /表面饰面：5μ inch Ra avg 接液材料：316L

Hastelloy C-22

316/316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

PCTFE

阀门选项：通常关闭 max温度：60℃ 压差范围：

min：7 psid

max：50 psid

max压力：150 psia