BDISCOM电源BDS SP 3 BDISCOM BDS SP 3

品牌：BDISCOM 型号：BDS SP 3 BDISCOM电源BDS SP 3 BDISCOM BDS SP 3 产品介绍 BDISCOM是一家制造公司生产直流低压和高压/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及台式射频等离子体反应器系列还提供发电机、电源和过程控制系统。多年来积累了丰富的设计开发经验通过不断地研究创新提高产品质量及性能满足客户需求。 BDS SP 3是用于直流溅射工艺的新型电源系列。 ···

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产品介绍

品牌：BDISCOM

型号：BDS SP 3

BDISCOM电源BDS SP 3 BDISCOM BDS SP 3 产品介绍

BDISCOM是一家制造公司生产直流低压和高压/安培、MF 40 kHz 和 RF -13.56 MHz 以及台式射频等离子体反应器系列还提供发电机、电源和过程控制系统。多年来积累了丰富的设计开发经验通过不断地研究创新提高产品质量及性能满足客户需求。

BDS SP 3是用于直流溅射工艺的新型电源系列。

BDISCOM电源BDS SP 3 BDISCOM BDS SP 3 性能特点

所有单元均配备用户友好的主动式触摸屏显示器

点火电压高达 1 1 kV

电弧检测 DV/DT 关闭时间 < 1mSec

冷却空气

BDISCOM电源BDS SP 3 BDISCOM BDS SP 3 技术参数

电源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)

max功率输出：3、6 和 12kw FS

max电压输出：1000 Volt FS

max电流输出：6、12 和 25 安培

点火：1 1 KVolt

电弧探测器：< 200 nSec 检测 < 1 mSec DV/DT 关闭时间

效率：> 90 %

显示：触摸面板 240x128 像素

调节模式：功率/电压/电流（可选）

冷却：空气（强制）

接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 选项）

工作温度：5-40°C

尺寸：19” 机架 - 4HU