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ONTO JetStep G35 - ONTO光刻系统JetStep G35

ONTO JetStep G35 - ONTO光刻系统JetStep G35

品牌:ONTO型号:JetStep G35TELEFIX(NESTLE)ONTO JetStep G35 - ONTO光刻系统JetStep G35 产品介绍 JetStep G35 系统专为灵动性而设计,利用一系列高性能投影镜头为平板显示器制造商实现高分辨率成像。Jetstep G35 系统是一款大批量制造成像系统,适用于高达 3.5 代的显示器。JetStep G35 系统可实现低至 1.5µm 的高分辨率成像,并结合**的高分辨率显示器制造所需的配准和拼接精度。适用于高达Gen 3.5尺寸的平板显示器应用的高···


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  • 产品介绍

品牌:ONTO

型号:JetStep G35

ONTO JetStep G35 - ONTO光刻系统JetStep G35

TELEFIX(NESTLE)

ONTO JetStep G35 - ONTO光刻系统JetStep G35 产品介绍

JetStep G35 系统专为灵动性而设计,利用一系列高性能投影镜头为平板显示器制造商实现高分辨率成像。Jetstep G35 系统是一款大批量制造成像系统,适用于高达 3.5 代的显示器。JetStep G35 系统可实现低至 1.5µm 的高分辨率成像,并结合**的高分辨率显示器制造所需的配准和拼接精度。适用于高达Gen 3.5尺寸的平板显示器应用的高分辨率成像。

ONTO JetStep G35 - ONTO光刻系统JetStep G35 性能特点

自动放大控制增加了工艺窗口

板载标线管理系统提供大利用率

用于现场校准的机载计量包

在每个曝光位置进行动态自动对焦,以自动调整面板拓扑上的焦点

提供系统性能和故障排除反馈的板载诊断

行业标准的 6 英寸光罩格式,用于经济的制造

低至 1.5µm 的高分辨率成像

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