021-5210 2968
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CDE Creative Design Engineering Inc 是一家总部位于美国加州库比蒂诺的半导体计量设备公司，核心产品是用于晶圆制造的四探针电阻率测试系统(ResMap系列)，在半导体和光伏行业应用广泛。CDE 的产品线以 ResMap 系列四探针测试仪 为主，用于测量晶圆、薄膜和导电材料的方块电阻与电阻率。
ResMap 178：最普及的台式型号，支持2-8英寸晶圆，精度±0.5%，静态重复精度±0.02%
ResMap 168：带自动传送功能的全自动型号，专为光伏电池产线设计
ResMap 273：半导体行业首款可测210mm衬底的桌面机型，报价约6.8万美元
ResMap 4E3：支持300mm(12英寸)晶圆的EFEM产线嵌入式全自动量测设备，可无缝对接晶圆设备前端模块
575系列：可测量大至450mm(18英寸)晶
测量精度：量测精度±0.5%，静态重复精度0.02%，动态多点重复精度0.1%
宽量程覆盖：方块电阻测试范围1mΩ～10MΩ，兼顾低阻重掺杂硅与高阻介质薄膜
**技术：创始人拥有50多项半导体设备**，软件可优化下针压力(90-200克可调)，薄片量测不易破裂
边缘修正：支持片缘1.5mm以内区域的稳定测量
数据输出：支持2D/3D阻值分布图，数据可导出Excel进行二次分析
半导体晶圆：离子注入、扩散工艺的方块电阻均匀性检测
化合物半导体：SiC、GaN、InP、GaAs等宽禁带功率衬底检测
光伏产业：硅片发射极、钝化层、金属电极电阻率表征
科研实验室：各类导电薄膜、金属镀层、纳米材料电学性能测试
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