品牌：ENTEGRIS 型号：InVueCR288 ENTEGRIS InVueCR288 - ENTEGRIS浓度监测仪InVueCR288 产品介绍 带有288-connect软件包的InVue CR288浓度监测器可提供使用点化学品/混合混合、加标和稀释的实时信息，而不会干扰或中断过程。基于PC的图形用户界面和LCD显示屏集成了数据收集、分析和现场校准以及方便、可扩展的数据界面和采集选项。光学系统计算实时浓度和温度补偿数据，所有···
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品牌：ENTEGRIS
型号：InVueCR288
带有288-connect软件包的InVue CR288浓度监测器可提供使用点化学品/混合混合、加标和稀释的实时信息，而不会干扰或中断过程。基于PC的图形用户界面和LCD显示屏集成了数据收集、分析和现场校准以及方便、可扩展的数据界面和采集选项。光学系统计算实时浓度和温度补偿数据，所有这些都是为了提高生产率。CR288浓度监测器采用创新的折射率技术，采用紧凑灵活的配置。该测量基于过程流体中光的折射，从而产生了一种准确和可重复的液体浓度测量方法。在线传感器准确地测量折射率和过程流体的温度。该信息通过互连电缆传输到远程数字显示单元(DDU)。DDU使用此信息以及用户定义的特性来计算过程流体的浓度。DDU在液晶显示屏(LCD)屏幕上显示折射率、温度和浓度。它还输出4至20mA和RS-232信号，可用作过程控制器的输入。
通过折射率(IoR)，这款具有成本效益的高性能浓度监测器可提高监测BEOL、FEOL和次晶圆厂化学品混合和输送系统的工艺效率
该装置占地面积小，可方便地直接安装在工艺化学品中
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