品牌：ENTEGRIS 型号：InVueGV148 ENTEGRIS InVueGV148 - ENTEGRIS浓度监测仪InVueGV148 产品介绍 InVue GV148液体浓度监测器可在不干扰或中断过程的情况下，为化学品混合、加标和稀释提供实时过程流体浓度测量。GV148液体浓度监测仪集成在一个紧凑的高的纯度封装中，可提供经济的高性能浓度监测，从而提高生产线前端(FEOL)、生产线后端(BEOL)的工艺效率)和子晶圆厂交付化学系···
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品牌：ENTEGRIS
型号：InVueGV148
InVue GV148液体浓度监测器可在不干扰或中断过程的情况下，为化学品混合、加标和稀释提供实时过程流体浓度测量。GV148液体浓度监测仪集成在一个紧凑的高的纯度封装中，可提供经济的高性能浓度监测，从而提高生产线前端(FEOL)、生产线后端(BEOL)的工艺效率)和子晶圆厂交付化学系统。这种增加的过程可见性导致更严格的过程控制、更高的晶片产量、减少的化学品使用和减少的废料。GV148监测仪采用经过验证的折射率技术，封装在紧凑的配置中，可提供准确和可重复的液体浓度测量方法。在线传感器可准确测量过程流体的折射率(IoR)和温度。然后使用该信息来计算过程流体浓度。
使用反射指数测量CMP浆料和非导电流体
带有集成电子元件的小尺寸可大程度地减小工具尺寸
HMI软件支持实时数据记录、分析和定制
窗户清洁端口可轻松访问蓝宝石窗户进行清洁
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